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机译:导电胶在军事引信应用中的MEMS互连中的使用
机译:SU8在MEMS和BMEMS应用中的微观到宏观应用。
机译:基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器
机译:J.微/纳米石。 mEms mOEms8�3�,031303�Jul-sep2009�微机电系统器件的辐射灵敏度
机译:微机电系统(mEms)和COTs mEms的互连和封装